TP、LCD、TFT、OLED显示器行业专用镀膜生产线

　　铟锡氧化物透明导电薄膜(ITO)是显示器面板制造过程中非常重要的技术项目，其薄膜的物理特性将直接影响到最终产品显示器的画质及其价位。玉丰真空提供高品质ITO镀膜技术，可应用於电阻式或电容式（多点触碰）之触控屏产品。广泛应用于TP、LCD、TFT、OLED等诸多行业。

　　溅镀工序在触控屏生产工艺中非常重要的环节，不论在设备或技术上，玉丰真空在国内及海外都有丰硕的实绩。玉丰真空秉持“开发尖端产品，谋求人类幸福”的信念，致力于发展触控屏与高科技真空镀膜系统设备，矢志创新！现如今，玉丰真空所制造生产的镀膜设备系统与工艺技术已处于世界领先水平，系统稳定性、品质及研发能力都深受国内外客户的认可与信赖。

我司生产的该类生产线主要有以下特点：

　　- 用真空大面积磁控溅射技术，沉积效率高，膜层质量高，可重复性好

　　- 采用分段式供气，提高真空膜层均匀性

　　- 采用分区多点控温模式，有效保证基片温度均匀性，从而减少碎片几率且大幅提高产品质量

　　- 采用隔气单元，对不同工艺段进行有效气氛隔离

　　- 氧化层采用SPEEDFLOW进行反射溅射控制

　　- 采用磁导向非接触式传动系统，基片架传动平稳，工艺环境洁净度高

　　-电气控制系统：PLC+PC自动控制结构，具有多种控制和操作方式，界面人性化。提供实时动态监测，对设备运行异常数据及故障进行报警提示，并进行相应记录

- 图片示例

立式直线与立式U型镀膜生产线

立式MO-AL-MO/ITO生产线

TFT玻璃专用镀膜生产线